Ponujene storitve
Analiza električnih karakteristik: porazdelitev nosilca DCUBE-SCM, zaznavanje toka CAFM, naboj vmesnika 3D NAND
Površinska morfologija in odkrivanje napak: slikanje površinske morfologije v nanometru, lokalizacija in analiza napak, podpora za optimizacijo procesa
Pregled strukture v nanometru: pregled nanožic in nanocevk, pregled nanovzorcev, ocena učinkovitosti nanonaprav
Pregled strukture embalaže: analiza značilnosti polprevodniškega materiala, raziskave novih materialov, analiza značilnosti vmesnika materiala
Analiza značilnosti embalaže: pregled površine paketa čipov, pregled notranje strukture paketa, odkrivanje in analiza napak na paketu
Ciljne stranke
Tovarne polprevodniških rezin, FAB in pakirnice
Standardi testiranja
ASTM E2530: Metoda merjenja morfologije AFM
SEMI MF1812: Vodnik za testiranje AFM za površinsko hrapavost polprevodnikov
Ozadje storitve
Trg mikroskopov na atomsko silo (AFM) doživlja znatno rast zaradi vse večjega povpraševanja po nanotehnologiji in rešitvah za slikanje z visoko-ločljivostjo. Globalna tržna vrednost je leta 2025 ocenjena na 1,75 milijarde USD in naj bi do leta 2033 narasla na 3,02 milijarde USD, kar predstavlja CAGR 7,09 %. Tržno povpraševanje izvira predvsem iz več področij, vključno z znanostmi o življenju, znanostjo o materialih in polprevodnikih. V proizvodnji polprevodnikov je AFM (avtonomno zaznavanje gibanja) ključnega pomena za pregledovanje značilnosti nanometrskega merila.
Vrednost storitve
Vrednost raziskav in razvoja
Preverjanje in optimizacija novih materialov: Pospešuje pregledovanje novih polprevodniških materialov (optimizacija vmesnika plasti visokega -k dielektrika), zagotavlja podatke o mikrostrukturi, omogoča preboj v raziskavah in razvoju ter zagotavlja močno podporo za razvoj novih izdelkov v tovarnah polprevodniških rezin, FAB-jih in obratih za pakiranje.
Lokalizacija napak v nanometru: Modul CAFM omogoča hitro slikanje v 10 minutah in natančno lociranje električnih napak v nanometru. To izboljša učinkovitost raziskav in razvoja, skrajša cikle lansiranja izdelkov in pomaga podjetjem pridobiti konkurenčno prednost na trgu.
Proizvodna vrednost
Spletni pregled in nadzor kakovosti: ScanAsyst samodejno skenira in zazna kontaminacijo površine rezin in mehanske poškodbe, kar omogoča-nadzor kakovosti v realnem času med proizvodnjo, zagotavlja doslednost izdelka in zmanjšuje proizvodne stroške.
Prilagoditev sonde po meri: prilagojena knjižnica sond z več kot 40 sondami, ki jih je mogoče prilagoditi različnim scenarijem inšpekcijskih pregledov, zagotavlja prilagodljive rešitve za inšpekcijske preglede za izpolnjevanje različnih proizvodnih potreb in izboljšanje proizvodne učinkovitosti.
Vrednost analize napak
Diagnostika napak v nanometru: slikanje z visoko{0}}ločljivostjo in multimodalna analiza natančno diagnosticirata vzroke za okvare, zagotavljata ključne podatke za izboljšanje izdelka, zmanjšanje tveganj za okvare in zagotavljanje kakovosti izdelka.
Študija primera
Proizvajalec polprevodniških rezin je med proizvodnjo naletel na problem kontaminacije površine rezin in iskal rešitev.
GRGTEST Measurement je uporabil Dimension ICON6 za inšpekcijo procesa XXnm. Način ScanAsyst te opreme je hitro prepoznal vir kontaminacije, kar je znatno izboljšalo natančnost in učinkovitost pregledov, kar je omogočilo pravočasne prilagoditve proizvodnega procesa in rešitev težave.
Priljubljena oznake: afm (mikroskopija na atomsko silo) analiza, Kitajska ponudnik storitev analize afm (mikroskopija na atomsko silo)
